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一种彩膜基板及其制作方法与流程

时间:2020-11-13 19:30

  在本发现中,通过在光阻材猜中增添交联剂,让光阻资料的丙烯酸树脂在低温环境(60~130℃)产生热交联反映。

  S5:采用掩膜板对构成S4根本上的通明层103进行曝光,显影,构成平展层104、主隔垫物105和副隔垫物106;

  S5:采用掩膜板对构成S4根本上的通明层进行曝光,显影,构成平展层、主隔垫物和副隔垫物;

  该当申明的是,上述实施例均可按照必要自在组合。以上所述仅是本发现的优选实施体例,该当指出,对付本手艺范畴的通俗手艺职员来说,在不离开本发现道理的条件下,还能够做出若干改良和润饰,这些改良和润饰也应视为本发现的庇护范畴。

  本发现涉及液晶显示器手艺范畴,出格涉及一种拆卸在液晶显示面板上的彩膜基板。

  S4:对通明层进行预烘烤,同时交联剂推进光阻资料内的丙烯酸树脂进行开端热交联反映;

  如图5-7所示,S5具体包罗:完成步调S4的根本上,通过掩膜板对通明层103进行曝光,如图5所示,构成第一曝光区、第二曝光区和第三曝光区,第一曝光区构成平展层104,第二曝光区构成副隔垫物106,第三曝光区构成主隔垫物105,第一曝光区透过率为0,为非曝光区,第二曝光区透过率小于第三曝光区,第三曝光区透过率为100%。

  然后通过显影工艺,构成所需的平展层104、主隔垫物105和副隔垫物106,如图6所示。此中通过显影蚀刻工艺中的参数药液温度、浓度、喷洒压力等,来节制平展层104、主隔垫物105和副隔垫物106的高度。

  丙烯酸树脂合成工艺简略,用度低廉,同时还拥有比拟度和分辩率高的长处,因而是一种常用的光刻胶成膜树脂,即光阻材猜中拥有丙烯酸树脂。

  图2是本发现彩膜基板实施例的布局示企图,如图2所示,该彩膜基板包罗一衬底基板100、构成于衬底基板100上的玄色矩阵101和彩色滤光层102、以及构成于玄色矩阵101和彩色滤光层102上的通明层103,所述通明层由含有交联剂的光阻资料构成,通明层103包罗一平展层104、主隔垫物105和副隔垫物106。

  本发现的实施例供给一种彩膜基板及其制造方式,通过在构成黑矩阵以及彩色滤光层的环境下,先构成由含有低温交联剂的光阻资料形成的通明层,预烘烤落伍行曝光,因为掩膜版分歧区域的透过率分歧,显影后,构成所需的平展层、主隔垫物和副隔垫物。因而,平展层和隔垫物部一体设想,同时构成,大大节流了工序,且拥有很好的强度。

  本发现的目标在于供给一种新的彩膜基板制造方式,通过新的工艺和资料设想,使得平展层和隔垫物可通过一道工艺进行制造,节流工序。

  平展层104笼盖在玄色矩阵101和彩色滤光层102上,主隔垫物105和副隔垫物106位于平展层104上。平展层104、主隔垫物105和副隔垫物106一体构成。

  S4:对通明层103进行预烘烤,同时交联剂推进光阻资料内的丙烯酸树脂进行开端热交联反映;

  边沿场开关(Fringe Filed Switching,FFS)型TFT-LCD的广视角手艺因为在大尺寸、高清楚度桌面显示器和液晶电视上的使用,而遭到越来越多的关心。FFS手艺通过统一平面内像素间电极发生边沿电场,使电极间以及电极正上方的取向液晶分子都能在(平行基板)平面标的目的产生扭转转换,从而提高液晶层的透光效率。因而,彩膜基板的平整度必要到达更高的尺度。现有手艺制备的彩膜基板的剖面图如图1所示,其包罗衬底基板100、构成于衬底基板100上的玄色矩阵101、漫衍在玄色矩阵101两头的彩色滤光层102、笼盖在玄色矩阵101和彩色滤光层102上的平展层103、构成于平展层103上的主隔垫物104和副隔垫物105。此中平展层103为热固化工艺,主隔垫物104、副隔垫物105为光固化和热固化工艺。因为平展层和隔垫物分隔制造,必要两条出产线先后完成,制造时间较长,占用出产资本也较多,本钱较高。

  如图4所示,所述S4的具体为:在选定温度(本实施例为60~130℃)下对完成步调S3的通明层进行选按时间的烘烤,此光阴阻进行开端热交联反映,以使光阻资料在整个基板上拥有必然抗蚀刻强度。

  此中,所述S1中,在衬底基板100上涂覆玄色矩阵用光阻剂,通过拥有图形的掩膜板对该光阻剂进行曝光并显影获得玄色矩阵101。

  交联剂是一种能在线型分子间起架桥感化,从而使多个线型分子彼此键合交联成网状布局的物质。交联剂在分歧业业中有分歧叫法,比方:在橡胶行业习惯称为“硫化剂”;在塑料行业称为“固化剂”、“熟化剂”、“软化剂”;在胶黏剂或涂料行业称为“固化剂”、“软化剂”等。

  采用本发现,能够节流彩膜基板的制造工艺,节约本钱,同时制造出的彩膜基板中的平展部和隔垫物安稳连系,且平展部和隔垫物都是由含有交联剂的光阻资料构成,拥有较好的强度。

  S3:在构成S2的根本上,笼盖含有交联剂的光阻资料构成的通明层103,如图3所示;

  为了更清晰地申明本发事实施例或现有手艺中的手艺方案,下面将对照附图申明本发现的具体实施体例。显而易见识,下面形容中的附图仅仅是本发现的一些实施例,对付本范畴通俗手艺职员来讲,在不付出缔造性劳动的条件下,还能够按照这些附图得到其他的附图,并得到其他的实施体例。

  此中通明层103所利用的光阻资料增添有低温聚适用的交联剂,此交联剂用于通明层在60~130℃预烘烤时推进丙烯酸树脂进行开端热交联反映。

  薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)凭仗其功耗低、制形成底细比拟力低和无辐射等特点,曾经成为平板显树模畴的支流手艺。TFT-LCD由彩膜基板和阵列基板对盒而成,彩膜基板次如果将背光源过滤为红、绿和蓝三原色光,实现分歧的色彩显示。

  为使图面简练,各图中只示意性地暗示出了与本发现有关的部门,它们并不代表其作为产物的现实布局。别的,以使图面简练便于理解,在有些图中拥有不异布局或功效的部件,仅示意性地绘示了此中的一个,或仅标出了此中的一个。

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